激光傳感器
激光傳感器(包括單頻和雙頻激光)具有較高的丈量精度,但丈量本錢也較高,對環境前提變化(如溫度、氣流、振動等)較敏感,在出產現場使用時必需采取措施保證丈量的不亂性和可靠性。
感應同步器
感應同步器的長處是制造本錢低,安裝使用利便,對工作環境前提要求不高;缺點是信號處理方式較復雜,丈量精度受到丈量方法的限制(傳統丈量方法的丈量精度約為2~5μm)。
光柵傳感器的最大長處是信號處理方式簡樸,使用利便,丈量精度高(國外知名廠家如德國Heidenhain、西班牙Fagor等公司制造的光柵傳感器精度可達1μm/m);缺點是光柵尺價格較昂貴,對工作環境要求較高,玻璃光柵尺的線脹系數與機床不一致,易造成丈量誤差。
磁柵傳感器
磁柵尺可分為線狀(有效丈量長度3m)和帶狀(有效丈量長度可達30m)兩種型式,其長處是制造本錢較低,安裝使用利便,線脹系數與機床相同;缺點是丈量精度低于光柵尺,因為磁信號強度隨使用時間而不斷減弱,因此需要重新錄磁,給使用帶來不便。